等離子清洗機在集成電路和MEMS行業(yè)的應用 

概述：主要產品有：等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子處理機、等離子表面處理設備及工業(yè)廢氣處理設備。公司品牌商標為："戈德爾-Guarder”，引進德國先進等離子應用技術，其系列產品覆蓋全國大部分省市，并出口北美、澳洲、中東、東南亞等地區(qū)。
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    在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走.



  GDR-PLASMA   煙臺金鷹科技有限公司是專業(yè)從事真空及大氣低溫等離子體（電漿）技術、水處理環(huán)保設備，靜電駐極設備，靜電發(fā)生器射頻及微波等離子體技術、工業(yè)廢氣及污水環(huán)保技術研發(fā)、推廣、銷售于一體的高新技術企業(yè) 。
    產品有：等離子清洗機、等離子刻蝕機、水處理環(huán)保設備、靜電駐極設備等離子去膠機、等離子處理機、等離子表面處理設備及工業(yè)廢氣處理設備。公司品牌商標為："戈德爾-Guarder”，引進德國先進等離子應用技術，其系列產品覆蓋全國大部分省市，并出口北美、澳洲、中東、東南亞等地區(qū)。

   


等離子清洗機在集成電路和MEMS行業(yè)的應用
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