全氟橡膠 選購指南
全氟橡膠ED密封圈
全氟橡膠ED密封圈(FFKM)類似聚四氟乙烯(PTFE)材料,全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學(xué)性和耐高溫性。普通全氟橡膠ED密封圈工作溫度為-250℃,特殊全氟橡膠ED密封圈溫度可達300℃。 優(yōu)點:耐熱性極好,優(yōu)異的抗化學(xué)特性;缺點:耐低溫較差,原料價格偏高,生產(chǎn)難度比較大。全氟橡膠ED密封圈廣泛地運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。 ......