半導(dǎo)體工業(yè) 選購指南

六甲基二硅氮烷（HMDS）

六甲基二硅氮烷（HMDS） 產(chǎn)品簡介 分 子 式：（CH3）3SiNHSi（CH3）3 　　分 子 量： 161.39 　　CAS 號： 999-97-3 　　英文名稱： Hexamethyldisilazane 性 狀： 無色透明液體、無毒、略帶胺味 產(chǎn) 地： 德國 　　 技術(shù)指標(biāo) 　　密度（25℃）g／cm＆sup3：0.770—0.780 　　折光率：1.408±0.002 　　六甲基二硅氮烷含量（％）：≥99.0 　　六甲基二硅氧烷含量（％）：≤0.7 　　三甲基硅醇含量％：≤0.3 　　閃點(diǎn)：27℃ 　　沸點(diǎn)：126℃ 　　色......

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