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在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運載氣,化學(xué)氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
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