ESC靜電卡盤電源 高品質射頻電源 

產品特點

1.電源寄存能量低，內置電流限制和保護電路設計使設備免受浪涌和電弧的損害。

2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。

3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。

4.突出的夾緊性能使本產品更適用于半導體晶片生產過程中。

應用對象

靜電卡盤電源可為半導體晶片轉移所使用的靜電夾盤提供穩(wěn)定的功勞輸出。