多級脈沖電源 

概述： 該射頻電源采用3U半機箱設計，整機功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式�？勺远x配置脈沖信號，響應速度快，信號質量高。支持高速、高精度的調頻功能。 應用特征

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該射頻電源采用3U半機箱設計，整機功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式�？勺远x配置脈沖信號，響應速度快，信號質量高。支持高速、高精度的調頻功能。


應用特征

該電源主要應用對象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。

多級脈沖電源
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