13.56MHz射頻電源(大功率)
概述: 產(chǎn)品性能 該電源輸出功率可達(dá)2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用
產(chǎn)品性能
該電源輸出功率可達(dá)2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示:設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù),同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對象
該電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源,該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對象包括:刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。
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